真空泵的拆卸步驟
1.放油
2.松開進(jìn)氣咀法蘭螺釘,拔出進(jìn)氣咀,松開氣鎮(zhèn)法蘭螺釘,拔出氣鎮(zhèn)閥。
3.拆下油箱。
4.拆除止回閥開口銷,拆下止回閥葉輪。
5.拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機(jī)拆否視方便而定。
6.松開泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉(zhuǎn)子及旋片。拆下低級轉(zhuǎn)子時,麻先拆下開口銷。
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ALCA 油泵 2012A 2015 2033 2033C 2033C1 2033C2 2033CP 2063 2063C1 2063C2 等
干泵 ADS602H 122P ADP81等
EDWARDS 油泵 E1M40 E2M20 E1M80 E2M80 E2M275
干泵 QDP40 QDP80 IQDP40 IQDP80 IH80 IH600 IH1000等
EBARA 150*40 80*25 50*20 A70W 等
LEYBOLD 油泵 D16 D25 D40 D65
羅茨泵 WSU251 WSU2001 等
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